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저유전상수 박막
유전체 확산 방지막
의료용 스텐트 플라즈마 코팅
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(c) 성균관대학교 반도체 및 나노응용연구실
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24
작성자
최고관리자
등록일
25-05-13
조회
21회
이름
최고관리자
본문
.
첨부파일
24.pdf
(329.7K)
25
Growth of Hf C,N thin films on Si 100 and D2 steel substrates by plasma assisted MOCVD
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