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(c) 성균관대학교 반도체 및 나노응용연구실

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작성자최고관리자

등록일 25-05-13
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Effects of Post-Deposition Heat Treatment on the Properties of Low Dielectric Constant Plasma Polymerized Decahydronaphthalene Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
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